准分子激光高压电源科幻影视

准分子激光高压电源气体配比优化的关键技术研究

准分子激光器作为半导体光刻、医疗及工业加工的核心光源，其性能直接受限于高压电源激励下工作气体的放电特性。气体配比优化是实现高脉冲能量、高稳定性和长寿命的核心环节，涉及缓冲气体选择、卤素浓度控制、惰性气体掺杂及多参数协同调控等多个维度。